產(chǎn)品特點：

◆ ?7 寸彩色觸摸屏中英文互動操作界面，自動控制監(jiān)測工藝參數(shù)狀態(tài)，20 個配方程序，工藝數(shù)據(jù)可存儲追溯。

◆ ?PLC 工控機控制整個清洗過程，手動、自動兩種工作模式。

◆ ?石英真空艙，真空管路系統(tǒng)采用 316 不銹鋼材質(zhì)，耐腐蝕無污染。

◆ ?采用質(zhì)量流量計，實現(xiàn)對氣體輸入精準控制，改變傳統(tǒng)浮子流量計控制氣體流量不準確問題。

◆ ?HEPA 高效過濾，氣體返填吹掃，防止二次污染。

◆ ?60 度傾角操作界面設(shè)計，符合人體功能學，操作方便，界面友好。

◆ ?頂置真空艙，上開蓋設(shè)計，下壓式鉸鏈開關(guān)方式，開關(guān)蓋方便。

◆ ?采用花灑式多孔進氣方式，改變傳統(tǒng)等離子清洗機單孔進氣不均勻問題。

◆ ?上置式 360 度自由水平取放樣品托盤設(shè)計，符合人體功能學，操作更方便。

◆ ?有效清洗面積大，可清洗最大直徑 8 吋硅片。

◆ ?安全保護，艙門打開，自動關(guān)閉電源。

技術(shù)參數(shù)：

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